Эксперимент проводился на 3-х образцах кремния и отожженных при различных температурах. Из полученных данных, что глубина залегания p-n перехода и коэффициент диффузии зависят от температуры отжига. Были определены параметры диффузии: предэкспоненциальный множитель и энергия активации .