Анализ напряжений мембраны со змеевидными подвесами

КУРСОВАЯ РАБОТА

по дисциплине «Моделирование и проектирование микро- и наносистем»

Введение………………………………………………………………………..5

1.МЕТОД КОНЕЧНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ……………………………………6

1.1 Преимущества и недостатки метода конечных элементов........7

1.2 Основные этапы практической реализации…………………….7

1.3 Программная среда COMSOL. Общие сведения……………….8

2.ОПИСАНИЕ КОНСТРУКЦИИ ИССЛЕДУЕМОЙ МЕМБРАНЫ….10

3.ПРОВЕДЕНИЕ ИССЛЕДОВАНИЙ……………………………………..12

3.1 Расчёт распределённой силы……………………………………...12

3.2 Расчёт напряжений…………………………………………………17

3.3 Определение собственных частот механической конструкции18

3.4Проведение анализа для различных материалов мембраны….21

3.5 Исследования влияния отверстий на механические характеристики мембраны………………………………………………………………25

Заключение…………………………………………………………………….29

Список использованных источников………………………………………30

1. MarcFuldner, AlfonsDehe, ReinhardLerchAnalyticalAnalysisandFiniteElementSimulationofAdvancedMembranes forSiliconMicrophones // IEEEsensorsjournal. – 2005. - № 5. – P. 857-858

2. Асташенкова, О.Н. Физико-технологические основы управления механическими напряжениями в тонкопленочных композициях микромеханики: дисс. канд. тех. наук. – СПб., 2015. – 143 с.

3. Борисов А. В. Численное моделирование физических процессов с применением метода конечных элементов на базе COMSOLMultiphysics // Томск. гос. ун-т. – 2010. – [Электронный ресурс]. Дата обновления: 2010. – URL: http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/vtls:000405404 (дата обращения: 07.02.2016).

4. Зенкевич О. Метод конечных элементов в технике – М.: Мир, 1975. – 271 с

5. Сегерлинд Л. Применение метода конечных элементов — М.: Мир, 1979. — 392 с.

6. Structural Mechanics Module: COMSOL Inc. – 2015[Электронныйресурс].Датаобновления: 20.11.2015. –URL: https://www.comsol.com/structural-mechanics-module (дата обращения: 16.05.2016).