Расчёт полевого транзистора с изолированным затвором
Расчетные данные:
полупроводник – антимонид индия;
материал затвора – золото;
канал индуцированный n-типа электропроводности;
толщина подзатворного диэлектрика d = 0.12 мкм,
ширина канала Z = 300 мкм, длина канала L = 12 мкм;
концентрация акцепторной примеси Na = 8*10 16 см (-3);
плотность поверхностных зарядов Nпов = 5*10 10 см-2,
подвижность электронов в канале mn = 1600 см2/В*с, контактная разность потенциалов МДП-структуры Фмдп = 0,95 В, относительная электрическая проницаемость нитрида кремния
eд = 0,95 В;
рабочая температура Т = 300 К.