Ответите вопрос.
На полированную кремниевую кристаллическую подложку толщиной 300 мкм нанесены пять слоев различных металлов, толщиной от 10 до 30 нм каждый. Какими методами и каким образом (как нужно подготовить образец) можно установить элементный состав и толщину слоев. Какая приблизительно точность будет у этих измерений?