Интересует курсовая по теме "Mикроакселерометр с высокой чувствительностью на базе технологии DRIE"
Мне только теория нужна
Понятие акселерометра(+схема)
классификация акселерометров(современные виды,примеры с рисунками)
Достижение акселерометров в современном мире(использование,крупнейшие производители) и т.д
процесс DRIE(определение,как проходит процесс,топология).