3.
При проведении процесса эпитаксии одним из показателей качества процесс является удельное сопротивление выращенного слоя, которое должно составлять 15‡ 1,5 Ом.см. Качество оценивается по 10 пластинам. Измерения проводятся на каждой пластине в 5 точках . Pe-зультаты измерений приведены в таблице. Определите, находится ли процесс в статистически управляемом состоянии. Рассчитайте индексы воспроизводимости процесса и определите долю брака.
Подгруппы
X2
X3
X4
Xs
15.3
15,4
14,6
15,4
15,1
2
15,2
15,9
16,0
16,1
15,9
15,5
16,0
15,9
16,1
15,0
12,9
13,7
12,9
13,1
13,5
14,3
14,7
13,7
15,0
14,7
14,5
14.1
14,1
14,8
14,0
14,0
14,8
13,0
13,7
14,2
8
15,9
16,1
15,6
16,0
15,4
15,8
15,2
14,4
14,7
15,4
10
16,0
16,6
15,7
15,4
15,7