Тема:Структура, принцип работы и основные технологические характеристики магнетронного распылительного устройства при создании металлических пленок
Структура отчета:
1. Титульный лист – стандартный.
2. Краткая физика процесса с простыми понятными рисунками. Необходимые расчетные формулы.
3. Подробно технологический маршрут с указанием конкретных режимов операции, использованных химреактивов и т.д.
4. Конструктивный чертеж изделия (структура, чип,…)