Молекулярно-лучевая эпитаксия кремния - тема 1 Сканирующий зондовый микроскоп «SMART-SPM 1000» - тема 2

2 реферата (20+ страниц, 14 шрифт TimesNewRoman) 

Молекулярно-лучевая эпитаксия кремния - тема 1

План:

1. Введение 

2. Процесс МЛЭ

3. Описание установки для МЛЭ кремния

4. Обзор процессов и свойств поверхности подложки при МЛЭ кремния

5. Легирование слоёв кремния в процессе МЛЭ

6. Перспективы развития МЛЭ кремния 

7. Выводы

Сканирующий зондовый микроскоп «SMART-SPM 1000» - тема 2

План: 

1. Введение 

2. Описание микроскопа

3. Технические характеристики 

4. Применение микроскопа

5. Выводы