Нужно найти статью по теме атомарно-чистые поверхности (например

Нужно найти статью по теме
атомарно-чистые поверхности (например, получение). В этой статье обязательно должна быть марка установки, на которой все проводится. В отчет входит:
1. Общее описание лабораторной установки.
2. Технические характеристики и размеры основного оборудования, его устройство и принцип работы. Описание всех систем, которые нужны для нормальной работы этого оборудования.
3. ОЧЕНЬ ВАЖНОЕ И ОСНОВНОЕ - ТРЕБОВАНИЯ К РАЗМЕЩЕНИЮ ВСЕЙ ЭТОЙ УТАНОВКИ, ТО ЕСТЬ ЧТО НЕОБХОДИМО, ЧТОБЫ ВСЕ ЭТО НОРМАЛЬНО СТОЯЛО В ЛАБЕ
4. Подбор доп.оборудования, которое нужно помимо основной установки, их технические характеристики, и программное обеспечение для компьютера в случае, если оборудование управляется с компа.
5. Расчет затрат на все оборудование и все что нужно в лабе: всякие столы, стулья, шкафы итд. То есть наименование, количество и цена.
6. Требование мер безопасности, требования к рабочему персоналу. САМОЕ ВАЖНОЕ - ТРЕБОВАНИЕ К ПОМЕЩЕНИЮ: ОСВЕЩЕННОСТЬ, ОТОПЛЕНИЕ, ВЕНТИЛЯЦИЯ ИТД. Требование к коммуникациям, т.е. электричество, водоснабжение итд