Ответить на вопрос.
Назовите методы исследований чип радиочастотного ключа mems
Приблизительный план ответа на вопрос:
1. Объект исследований с характерными размерами. Назначение.
2. Методы исследования
3. Предполагаемые результаты
Объём ответа не менее 2/3 станицы
И список литературы