Столик с охлаждением, для подложки диаметром 200 мм, разница температур от центра столика к краю, не должна превышать 10 degC. Охлаждение водяное, температура воды на входе 15 degC, скорость потока 0,05 м/с, мощность источника плазмы 300Вт
Ошибки: Heat Flux — ошибк
Heat Source — ошибка