объем 20-26 стр
Содержание Список литературы
сквозная нумерация рисунков, схем
тема 6
1.Оборудование для полирования полупроводниковых подложек. 2 Термопарные преобразователи для измерения вакуума.3. Источник с холодным катодом для установки ионной имплантации
тема 10
1. Конструкция и принцип действия ПМИ-2 (ионизационный манометр). Недостатки ПМИ-2. 2. Индукционный нагрев. 3. Система ионно-пучкового транспорта. Ускорители ионов. Фокусирующие системы.
Литература
Технология микроэлектронных устройств Справочник З.Ю.Готра 1991