Проектированиe вакуумной установки для дуговоГо испарсния

Габаритные размеры камеры (внутренние) - диаметр 950 мм, длина 1200 мм.
Форма камеры - цилиндр.
В камере происходит обработка 3-х изделий из нержавеющей стали.
Размеры: диаметр 200 мм, толщина 15 мм. Осаждение алмазоподобного покрытия (DLC). Обработка только одной стороны изделия.
Необходимое давление 2-10° Па. Время достижния давления (от атмосферного давления) не болес 260 минут.
Время предварительной откачки камеры от атмосферного до давления запуска высоковакуумного насоса не более 30 минут